電子工業用の高グレード製品 高純度リン酸

不純物が少ない乾式法で製造した電子工業用の高グレード製品です。

ELリン酸

ELリン酸ローリー
(ELリン酸ローリー)

概要 一般リン酸より純度が高く、電子材料用のエッチング剤として使用されています。
用途 電子材料エッチング用
荷姿 ポリエチレン缶(25kg)、ドラム缶(320kg)、ローリー(10t)

EL-S リン酸

EL-Sグレード包装形態
(EL-Sグレード包装形態)

概要 微細な異物であるパーティクルを低減した弊社最高グレードのリン酸です。半導体ウェーハ表面のパーティクル付着は半導体製造工程の欠陥原因のひとつですが、不純物を極力減らす事で、パーティクルを嫌う半導体用のエッチング剤として使用されています。
用途 電子材料エッチング用
荷姿 ポリエチレン缶(25,30kg)、ドラム缶(300kg)、ローリー(10t)

パーティクルの一般規格表

一般規格
0.2µm/ml 200個以下
0.3µm/ml 70個以下
0.5µm/ml 20個以下