高純度リン酸

リン酸には2種類(乾式法、湿式法)の製造方法があります。
乾式法で製造するリン酸は、湿式法で製造するリン酸に比べ不純物が少ないという長所があります。
この品質に着目した製品(グレード)が高純度リン酸です。
高純度リン酸の用途は電子工業用です。
電子工業用途には大別すると二種類あります。
ひとつはアルミエッチャントです。液晶ディスプレイを製造する際アルミニウム配線は薄膜を形成して作ります。その際、余分なアルミニウム膜を除去するために混酸が使用されます。この混酸の主原料としてリン酸が使用されています。
もうひとつは半導体を製造する際のエッチング剤です。

製品-1：85%リン酸ELグレード
(出荷荷姿の1例：タンクローリー車)

製品-2：85%リン酸EL-Sグレード
(出荷荷姿の1例：25Kg, 30Kg ポリエチレン容器、 300Kg パワードラム容器)

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