不純物が少ない乾式法で製造した電子工業用の高グレード製品です。
ELリン酸
（ELリン酸ローリー）
| 概要 | 一般リン酸より純度が高く、電子材料用のエッチング剤として使用されています。 |
|---|---|
| 用途 | 電子材料エッチング用 |
| 荷姿 | ポリエチレン缶（25kg）、ドラム缶（320kg）、ローリー（10t） |
| SDS | ELリン酸 SDS（安全データシート） |
EL-S リン酸
（EL-Sグレード包装形態）
| 概要 | 微細な異物であるパーティクルを低減した弊社最高グレードのリン酸です。半導体ウェーハ表面のパーティクル付着は半導体製造工程の欠陥原因のひとつですが、不純物を極力減らす事で、パーティクルを嫌う半導体用のエッチング剤として使用されています。 |
|---|---|
| 用途 | 電子材料エッチング用 |
| 荷姿 | ポリエチレン缶（25,30kg）、ドラム缶（300kg）、ローリー（10t） |
| SDS | EL-S リン酸 SDS（安全データシート） |
パーティクルの一般規格表
| 一般規格 | |
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| 0.2µm/ml | 200個以下 |
| 0.3µm/ml | 70個以下 |
| 0.5µm/ml | 20個以下 |
| 高純度リン酸に関する お問合せ |
高純度リン酸の詳細につきましては、 弊社営業窓口までお問合せ下さい。 |
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